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值得注意的是，SK海力士现在也在寻找减少“用于互连的金属”电阻的方法，这表明DRAM晶体管的尺寸已经变得非常小，以至于其触点将成为瓶颈。借助EUV，晶体管将缩小尺寸，提升性能并降低功耗，接触电阻将成为10nm以下的瓶颈。不同的芯片生厂商用不同的方式来解决这一问题：英特尔决定使用钴代替钨，而台积电和三星则选择了选择性钨沉积工艺。SK海力士未详细说明其抗接触电阻的方法，只是表明正在寻求下一代电极和绝缘材料并引入新工艺。
值得注意的是，SK海力士现在也在寻找减少“用于互连的金属”电阻的方法，这表明DRAM晶体管的尺寸已经变得非常小，以至于其触点将成为瓶颈。借助EUV，晶体管将缩小尺寸，提升性能并降低功耗，接触电阻将成为10nm以下的瓶颈。不同的芯片生厂商用不同的方式来解决这一问题：英特尔决定使用钴代替钨，而台积电和三星则选择了选择性钨沉积工艺。SK海力士未详细说明其抗接触电阻的方法，只是表明正在寻求下一代电极和绝缘材料并引入新工艺。
发布时间：2026-03-03 14:42:49文章来源：河南成人高考招生教育信息网
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